關於降低沸石轉輪設備（bèi）內（nèi）部VOCs殘留的方法

目前國內外對VOC的末端治理方法有：冷凝、吸附、氧化（huà）、生物處理、吸收、等離子體淨化等。以沸石材料為載（zǎi）體的吸附濃縮（suō）法處理VOC廢氣（沸石轉輪）得（dé）到了較為（wéi）廣泛的應用。全國（guó）對VOCs汙染物防治的（de）要求和（hé）力度逐漸加強，低濃度廢氣治理的沸石（shí）轉輪（lún）吸附濃（nóng）縮法成為了很多企業的優（yōu）選治理方案。

降（jiàng）低沸石轉輪設備內部VOCs殘留可從改善（shàn）VOCs廢氣的進氣質量和加強（qiáng）脫附效率兩方麵入手。

（1）廢氣預處理（lǐ）

廢氣（qì）預處理措施通常有除塵、除濕、除霧、除高沸（fèi）物等。針對待處理（lǐ）的VOCs廢氣實際（jì）情況（kuàng），選取適（shì）當的廢氣預（yù）處（chù）理措施。比如，半導體生產製造過程對（duì）生產場所的顆粒物有嚴（yán）格的要求，生產場所通常（cháng）為潔淨車間。因此，有機（jī）廢氣中的顆（kē）粒物含量極少，通常（cháng）無需進行除塵預處理。

比如，芯片製造業生產過程（chéng）中使用的主要（yào）有機原料通（tōng）過具有低沸點、易揮發的特點，但仍不（bú）排除少量高沸（fèi）點物質，如剝離液（yè）的主要成分二甘醇胺（àn）（沸程218～224℃）等。可在高沸點物質主要使用工序（xù）增設冷凝、前道活性炭吸附等預處（chù）理裝置，以降低（dī）VOCs廢（fèi）氣中難（nán）脫附高沸（fèi）點物質進入沸石轉輪。

高沸點VOCs進入（rù）廢氣管道後容易產生（shēng）凝結，從而使廢氣（qì）濕度增大（dà）。當進（jìn）入沸石轉輪係統（tǒng）的有機廢氣濕度大於80%時，將對疏（shū）水性（xìng）沸石（shí）分子篩產生較為嚴重的影響。因此，建議企業（yè）對高濕度廢氣增設幹燥除濕預處理裝置，使得進入廢水轉輪係統的廢氣濕度（dù）保持在（zài）穩定、可控的範圍內（nèi）。

（2）高溫（wēn）再生

根據對國內芯片企業開展（zhǎn）的調研可知，芯片製造業常用的有機物質有異丙醇（沸點（diǎn）為82.45℃）、丙二醇單甲醚乙酸酯（沸點為146℃）；同時還含有少量的高（gāo）沸點物質，例如二甘醇胺（沸程218～224℃）。

通常芯片製造業沸石轉輪（lún）的（de）再生溫度為180-200℃，在此再生溫度下，高沸點的二甘醇胺等（děng）物質將無法從沸（fèi）石轉輪上有效脫附，從（cóng）而逐漸積聚在轉輪內部。

對沸石轉輪係統的高沸點物質聚集（jí）情況開展了研究，當沸石轉輪係統（tǒng）運行1個月後，轉輪內部確實有較（jiào）大（dà）量的有機物積聚，其有機（jī）物積聚量即達6wt。進行有效的高溫脫附之後，其內部的有機物積聚量可降低約40%～60%。因此，高溫脫附可較為有效地去除沸（fèi）石轉輪內部積聚的高沸點有機物質。

企業應（yīng）根據廢氣的實（shí）際產生情況，分析廢氣組成分（fèn）布，分析高沸點物質占比情況，以及廢氣（qì）的產生總量等內容，從而（ér）確定高溫再（zài）生頻次。較為適宜的高溫再生頻次為2～3個月一次。

高溫再生的溫度（dù）也會影響（xiǎng）高溫脫附（fù）效果。若高溫（wēn）脫（tuō）附溫度選（xuǎn）取過低，則高沸點（diǎn）物質仍無法有效脫除；若高溫脫附溫度選取過高，將對沸石分子篩（shāi）的骨架結（jié）構產生一定的影響，從而降低其使用壽命。高溫脫附溫度宜選取300℃左右，並（bìng）且，相應的沸石轉輪內（nèi）部配件均需采用可耐300℃高溫的密封配件。

(3)水洗再生

芯片製造業常用的有（yǒu）機物質（如異丙醇、丙二醇單甲醚乙酸酯等）通常具有較好的水溶性，可采（cǎi）用水（shuǐ）洗再生（shēng）的（de）方式去除沸石轉輪內（nèi）部聚集的（de）高沸（fèi）點物（wù）質。

水洗（xǐ）再生可有效提（tí）高沸石轉輪係統的治理效率（lǜ），對於工廠（chǎng），當水洗再生次（cì）數達到（dào）4～6次/年時，沸石（shí）轉輪係統的治理效率可達95%～99%。因此（cǐ），適當增加定期（qī）水洗再生頻次，可有效防止高沸點物質在（zài）沸（fèi）石轉輪內部的聚集，保持高（gāo）效的治理（lǐ）效（xiào）率。

由於沸（fèi）石轉輪通常采用無機粘合劑將分子篩塗覆在陶瓷纖維紙表麵製造而（ér）成。故（gù）水洗時不僅轉輪不會發生龜裂形變，也不會發生由於分子篩脫落所導致的性能劣化、使用壽（shòu）命縮短等問題。

但是，水洗時需要注意水質狀況，若其中大量含有鈣、鎂等（děng）離子，將可能在沸（fèi）石內部形成碳（tàn）酸鹽，阻塞沸石轉輪的蜂窩狀孔（kǒng）道；水中所含微量重金屬物質（zhì）、氯等（děng）也會毒化沸石。

值得注意的是，並非（fēi）所（suǒ）有沸石轉輪材質（zhì）均可耐水洗，企業應在水性再生之前，向沸石轉輪設備的製造廠商做好相關的谘詢（xún）工作。

（4）高壓空氣吹掃

企業在停機（jī）檢維修期間，采用高壓空氣對沸石轉輪進行吹掃（sǎo）。然而，高壓空氣吹掃（sǎo）通常隻可清楚沸石轉（zhuǎn）輪（lún）表麵（miàn）附著的灰塵（chén），而（ér）VOCs有機（jī）質通常吸附在（zài）分（fèn）子（zǐ）篩孔道內部，無法得到有效的脫除，還需與上述其他處理方式配合選用。