關於降（jiàng）低沸石轉輪設備內部VOCs殘留的方法（fǎ）

目（mù）前國內外對（duì）VOC的末端治理方法（fǎ）有：冷凝、吸附、氧化、生物處理、吸收、等（děng）離子體（tǐ）淨化等。以沸石材料為載（zǎi）體的吸附濃縮法處理VOC廢氣（沸石轉輪（lún））得到了較為廣（guǎng）泛的應用。全國對VOCs汙（wū）染物防治的要求和力度逐漸加（jiā）強，低濃度廢氣治理的沸石轉輪（lún）吸附濃縮法成為了很多企業（yè）的優選治理方（fāng）案。

降（jiàng）低沸（fèi）石轉輪設備內部VOCs殘留可從改善VOCs廢氣的進氣質量和加強脫附效（xiào）率兩方麵（miàn）入手。

（1）廢氣預處理

廢氣預處理措（cuò）施通（tōng）常有（yǒu）除塵、除濕、除霧、除高沸物等。針對待處理的VOCs廢氣實際情況，選取適當的廢氣預處理（lǐ）措施。比如，半導體生產製造過程對生產場所的顆粒物有嚴格的要求，生產場所（suǒ）通常為（wéi）潔淨車間。因此，有機廢氣中的顆粒物含（hán）量極少（shǎo），通常無需進行除塵預處理。

比如，芯片製造業生產過程中使用的主要有機原料通過具（jù）有低沸點、易揮發的特點，但仍不排除少量高沸點物（wù）質，如剝離液的主要（yào）成分二甘醇胺（沸程218～224℃）等。可（kě）在高沸點物質主要使用工序增設冷凝（níng）、前道活性炭吸附等預處（chù）理裝置，以降低VOCs廢氣中難脫附高沸點物質進入沸石轉（zhuǎn）輪。

高沸點VOCs進入廢氣（qì）管道後容易產生凝結，從而使廢氣（qì）濕度增大。當進入沸石轉輪係統的有機廢氣濕（shī）度大於80%時，將對疏（shū）水性沸石分子篩產（chǎn）生較為嚴重的（de）影響。因（yīn）此，建議（yì）企業對高濕度廢氣增設幹燥除濕預處理裝置，使得進入廢水轉輪係統的廢氣濕度保持在穩定、可控的範圍內。

（2）高溫（wēn）再生

根據對國內芯片企業開展的調研（yán）可知，芯片製造業常（cháng）用的（de）有機物質有異丙醇（沸點為82.45℃）、丙（bǐng）二醇單甲醚乙酸（suān）酯（沸點為146℃）；同時還（hái）含有少量（liàng）的高沸點物質，例如二甘醇胺（沸（fèi）程218～224℃）。

通常芯片製造業沸石轉輪的再生溫度為180-200℃，在此再生溫（wēn）度下，高沸點的二甘（gān）醇（chún）胺等物質將無法從沸石轉輪上有效脫附，從而逐漸積聚在轉輪內部。

對沸石轉輪係統的高沸點物質聚（jù）集情況開展了研究，當（dāng）沸（fèi）石轉輪係統運行1個月後，轉輪內部確實有較大量的有機物積聚，其有機物積聚量即（jí）達6wt。進行有效的高（gāo）溫脫附之後，其內部的有機物積聚量可降低約（yuē）40%～60%。因此，高溫（wēn）脫附可較為有效地去除沸石轉輪內部積聚的高（gāo）沸點有機物質。

企業應根據廢氣的實際產生（shēng）情況，分析廢氣組成分（fèn）布，分析高沸點物質占比情況，以及廢氣的產生（shēng）總量等（děng）內容，從而（ér）確定高溫再生頻次。較為適宜的高溫再生頻次（cì）為2～3個月一次。

高溫再生的溫度也會影響高溫脫附效果（guǒ）。若高溫脫附溫度選取過（guò）低，則高沸點物質仍無法有效脫除；若高溫脫附溫度選取過高，將對沸石（shí）分子篩的骨架結構產生一（yī）定的影響，從而降低其使用壽命（mìng）。高溫脫附溫度宜選取300℃左（zuǒ）右，並且，相應（yīng）的沸石轉輪（lún）內部配件均需采用可耐300℃高溫的密封（fēng）配件。

(3)水洗再（zài）生

芯片製造業常用的有機物質（如異丙醇（chún）、丙（bǐng）二醇（chún）單甲醚乙（yǐ）酸酯等）通常具（jù）有較（jiào）好的水（shuǐ）溶性，可采用水洗再生的方式去除沸石轉輪內部聚集（jí）的高沸點物質。

水洗再生可有效提高沸石轉輪係統的治理效率，對於工（gōng）廠，當水洗再生次數達到4～6次/年時，沸石轉輪係統的治理效率可達（dá）95%～99%。因此，適當增加定期（qī）水洗再生頻次，可（kě）有效防止高沸點物質在沸石轉輪（lún）內部的聚集，保持（chí）高效的治理效率。

由於沸石轉輪通常采用（yòng）無機粘合劑將分子篩塗（tú）覆在陶瓷（cí）纖維紙表（biǎo）麵製造而成。故水洗時不僅轉輪不會發生龜裂（liè）形變，也不會發生由於分子篩脫落所導致的性能劣化、使用壽命縮短等問題。

但是，水（shuǐ）洗時需要注意水質狀況，若其中大量含有鈣、鎂（měi）等離子，將可能在沸石內部形成碳酸鹽，阻塞沸（fèi）石轉輪的蜂窩狀孔道；水中所含微量重金（jīn）屬物質、氯等也會毒化沸石。

值得注意的是，並非所（suǒ）有沸石轉輪材質均可耐水洗，企業應在水性再生之前，向沸石轉輪設備的製造廠商做（zuò）好相關的谘詢工作。

（4）高壓空（kōng）氣吹掃

企業在停機檢（jiǎn）維修期間，采用高壓空氣對沸石轉輪進行吹掃。然而，高壓空氣吹掃通常隻可清楚沸石轉輪表麵附著的灰塵，而（ér）VOCs有機質通常吸附在分子篩孔道內部，無法得到有效的脫除，還需（xū）與上（shàng）述其他處理方式配（pèi）合選用。